米关键尺寸电子束量测量产设备出机K8凯发·国际网站国产首台28纳

　　在当天活动现场…●•▲，双方将携手在技术创新☆▪◁★、产业应用☆▽◁●○、科技人才培养等领域开展全面合作★○，通过贯通★…◁“理论突破工艺验证产线落地▪△•□●●”全链条••，亘芯悦科技K8凯发·国际官方网站•…、上海交通大学自动化与感知学院合作共建的电子光学AI平台联合实验室同步揭牌••▼▪○-，为后续设备创新研发注入新动能▪☆…▽=。

　　电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外○▽◁○○，技术难度最大▽△•▽、重要程度最高的设备之一•▼▪。此次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备●▽■，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制◆▼○▼☆●，在电子光学系统-☆◆◆■•、运动平台■□、电子电路和软件等方向实现了完全自研■★▪◇△○，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题△••，对于填补我国集成电路产业关键环节空白□▪•…●▽、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义☆◇•。

　　8月15日▲•○◇，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机▲●○◆☆。市委书记杜小刚K8凯发·国际官方网站•△…◆，中国工程院院士丁文江☆★▪★、庄松林□--•■K8凯发·国际网站国产首台28纳、董绍明◁△□☆△◇，中国科学院院士张泽共同出席出机仪式◁=。新吴区主要负责同志△•-•★，相关高校◁●•△凯发k8官方网站登录，、企业•■、投资机构代表等参加活动=□-▷•。

　　无锡作为全国第二个集成电路产业产值过千亿元的城市△□○▲…73英寸便携式一体机推荐凯发K8国际版酷 DTG-2772-SX11SSL拥有1个PCIe*16○◁-…、2个PCIe*8扩展插槽•▽▷•，具备强大的扩展能力•=…，能兼容多种尺寸扩展卡•▪-，可添 更多 73英寸便携式一体机推荐凯发K8国际版酷，，近年来创新出台集成电路高质量发展36条措施◁◇☆▪◁△，设立总规模50亿元的江苏无锡集成电路产业专项基金K8凯发·国际官方网站★-，吸引国家集成电路产业投资基金在锡投资超百亿元★◇◇•●○，先后获批国家集成电路设计无锡产业化基地◁■、国家微电子高新技术产业基地•▷◁★-、国家集成电路特色工艺及封装测试创新中心▲◁▼△◆▪。去年•▪◆▪▲▽，全市集成电路规上企业实现产值2512亿元K8凯发·国际官方网站★●、同比增长9=◆●○.3%▪-●○●●；入选中国独角兽企业名单新增数量全省第一◇▪★□，且均为集成电路领域企业•◁•。今年16月-■•▽-□，全市集成电路规上企业实现产值1315亿元○■-△，同比增长14●■▪◇○….2%◇▪▷•。

　　活动前●☆▼，市领导和嘉宾一同调研亘芯悦电子束量检测设备生产线••，详细了解企业发展历程◁▼▲米关键尺寸电子束量测量产设备出机、人才团队-…▽▷☆=、技术路径◁◇•、核心设备等情况•☆□◇△。